半导体行业高度依赖超纯水系统。超纯水在晶圆清洗、湿法蚀刻、化学机械抛光等关键工艺中起关键作用,确保器件性能和制造精度。系统通过多级纯化工艺达到高纯度要求,具有稳定性、可靠性、安全性和环保性。随着半导体技术发展,超纯水需求增长,对系统纯度和稳定性提出更高挑战。超纯水系统为半导体制造提供高质量水源,推动行业进步。
使用单位:某半导体企业西安工厂
安装设备:艾柯实验室超纯水系统
设备型号:AK-RO-UP-500
制水量:500L/H
安装时间:2024年10月23日
客户单位成立于2001年, 是一家专注技术创新的科技公司,在安防、智能物联领域耕耘二十余年, 产品和解决方案应用在150多个国家和地区,致力于将物联感知、人工智能、大数据技术服务于千行百业,引领智能物联新未来。
此次安装的艾柯AK-RO-UP-500实验室超纯水系统,具备每小时生产500升高品质纯水的能力,它集成了全自动水处理技术的核心优势。从预处理到超纯化,系统的每一步都实现了精确控制,以确保水质达到最佳状态。其高度自动化的设计大幅减少了人工操作的需求,同时,高效的节水设计也显著降低了运行成本。系统内置了智能监控功能,能够实时监测液位、压力和水质,从而确保系统的安全稳定运行。此外,该系统还支持根据实验室的具体需求进行个性化定制,以满足各种多样化的用水需求。艾柯超纯水系统凭借其智能化和高效能的显著特点,为科研创新活动提供了稳定且可靠的纯净水资源。
在半导体制造行业中,超纯水的重要性无可替代,其应用范围既广泛又深入。在半导体生产的各个环节中,超纯水扮演着至关重要的角色。作为清洗、蚀刻、掺杂等关键步骤的媒介,超纯水确保了芯片制造过程的精确与高效。它能够彻底清除可能影响半导体元件性能的任何杂质,为制造出高质量的半导体产品提供了坚实的保障。
在半导体的研发与测试阶段,超纯水同样至关重要。它被广泛用于精密仪器的清洗与维护,以确保测量与测试的准确性;同时,作为化学试剂配制、样品稀释与校准的基础,超纯水保障了实验数据的可靠性与可重复性,为半导体技术的研发提供了有力的支持。
随着半导体行业的不断发展,对超纯水的需求也在持续增长。为了应对这一挑战,企业不断致力于提升超纯水的制备技术,优化生产工艺,以提高资源利用效率。同时,加强废水处理与回收利用也成为了行业关注的重点,旨在实现半导体制造的可持续发展。
艾柯实验室超纯水系统采用全自动水处理系统设计,系统以预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理等主要工艺组成,系统具有自动化程度高,系统稳定性高,水利用率高,大大节省人力成本和维护成本,运行可靠。设备水箱均设有液位控制系统、水泵均设有压力保护装置、在线水质检测控制仪表,具有更高的性价比和可靠性。系统制水量可根据客户需求定制,满足实验室纯水/超纯水的用水需求。
性能特点
全自动前期预处理系统
全自动多介质过滤器,全自动活性碳过滤器,全自动软化器、精密过滤器等构成前期预处理系统,高效去除水中的大颗粒杂质,对RO膜进行保护。
RO反渗透主机系统
配备保安过滤装置对0.01um以上颗粒实现99.9%的拦截率对RO膜进行保护,同时自动反冲洗RO反渗透膜,延长RO反渗透膜的使用时间。
全自动系统检测控制功能
水箱均设有液位控制系统、水泵均设有压力保护装置、在线水质检测控制仪表,运行更加的稳定可靠。
在线水质检测功能
系统可同时检测显示纯水/超纯水电导率、温度的水质以及电阻率,可随时了解水质情况。